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低温泵(关于低温泵的简介)

2023-03-10 22:38来源:未知 频道:知识百科 阅读:
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1、低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。

2、低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

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